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rgl joint日本进口gf40数字质量流量控制器
产品型号：gf40
产品品牌：日本rgl joint
产品简介：
可以在不停止设备运行的情况下轻松更改气体类型和流量。可以在不损失精度的情况下更改满刻度值。
无需为每个规格保留库存。
诊断功能可以检测主机的异常。
・multiflo™技术
・保证零点稳定性的温度补偿电路
・与传统型号的高兼容性
・橡胶密封或金属密封
・各种数字通信、profibus、rs485的各种模拟i/o（4-20ma、0-20ma、0-5vdc），
具有专用服务端口的诊断功能，方便更改气体类型和流量值
您可以轻松操作多气体和多流量软件，只需将其下载到您的 pc 并将其连接到 mfc，而无需将其从管道上拆下。
质量流量控制器 gf40/80
rgl joint日本进口gf40数字质量流量控制器
| 用法 | ||
| ||
规格表 | |||||
| 流速 | 控制器 | 3 sccm f. s ~ 50 slm n2 当量 | |||
| 仪表 | 3 sccm f. s ~ 50 slm n2 当量 | ||||
| 准确性 | ±1%sp (35-fs) ±0.35%fs (2-35%fs) | ||||
| 再现性 | <±0.2%sp | ||||
| 环境温度范围 | 5-50℃ | ||||
| 外部泄漏率 | gf40 1×10 -10 pa・m3 / s he gf80 1×10 -11 pa・m3 /s he | ||||
| 输入/输出 | 0-5vdc, 4-20ma, 0-20ma | ||||
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