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simco日本思美高进口5225 型aerobar棒式离子发生器
产品型号：5225 型aerobar
产品品牌：simco 静电测试仪
产品简介：
■单晶硅电极在全球范围内拥有无与伦比的
采用记录，由于其超低颗粒特性和电极材料，避免了金属污染的风险
。
通过安装 5200-sr 外部电极静电消除目标附近的传感器（选件），可以对静电消除目标附近的离子平衡进行反馈控制，而不是离子发生器本身（连接5200-sr）如果没有，离子发生器内置的传感器会自动调整离子平衡.)
■根据半导体前端工艺的efem设定棒的长度
■离子发生输出、离子发生时间、警报阈值等 参数范围广 通过使用 进行设定，可以灵活应对适用于远距离应用和弱气流环境
■只需通过数字输入参数即可获得高再现性，并且可在短时间内完成设置
■除了简单的报警 io 外，还可以使用提供的 dll 进行实时监控免费，有助于掌握工艺设备内部状态。
simco日本思美高进口5225 型aerobar棒式离子发生器
日本思美高静电测试仪5225s aerobar 型用于超洁净独立安装
■单晶硅电极在全球范围内拥有的
采用记录，由于其超低颗粒特性和电极材料，避免了金属污染的风险
。
通过安装 5200-sr 外部电极静电消除目标附近的传感器（选件），可以对静电消除目标附近的离子平衡进行反馈控制，而不是离子发生器本身（连接5200-sr）如果没有，离子发生器内置的传感器会自动调整离子平衡.)
■根据半导体前端工艺的efem设定棒的长度
■离子发生输出、离子发生时间、警报阈值等 参数范围广 通过使用 进行设定，可以灵活应对适用于远距离应用和弱气流环境
■只需通过数字输入参数即可获得高再现性，并且可在短时间内完成设置
■除了简单的报警 io 外，还可以使用提供的 dll 进行实时监控免费，有助于掌握工艺设备内部状态。
| 输入电压 | 24v ac，50/60hz，1w（典型值）由 im6t 提供。 |
|---|---|
| 沟通形式 | rs485（im6t 和 5225 之间） |
| 输出电压 | 0kv 至约 /-20kv |
| 输出形式 | 脉冲直流模式、稳态直流模式（可选） |
| 输出电流 | 内置<15microa电流和电压限制电路 |
| 连接接头 | rj11，4极4芯 |
| 离子发生时间 | 小0.1秒，10秒 可分别设置正负 |
| 电极 | 单晶硅电极可更换 |
| 臭氧产生量 | <0.005ppm（24小时积分测量） |
| 相应洁净度 | iso 1 级，0.1 微米 |
| 尺寸 | 高 53 毫米 x 深 31 毫米 x 长 569 毫米 (-22)、721 毫米(-28)、 907毫米(-36)、1128毫米(-44)、1412毫米(-56)、1636毫米(-64)、 1918 毫米 (-76) 和 2144 毫米 (-84) |
| 重量 | -22：每增加长度1.02kg 0.17kg/30cm |
| 外部的 | abs树脂 |
接口模块型号 5200-im6t
| 输入电压 | 24v 直流 /-5%，1.5a |
|---|---|
| 沟通形式 | 以太网、rs232c |
| 报警输出 | 继电器触点（仅限 v4.0 及更高版本） |
| 尺寸 | 高 74 毫米 x 深 71 毫米 x 长 315 毫米 |
| 重量 | 2公斤 |
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