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日本进口simco思美高局部清洁静电消除离子发生器 quadbar 型号 4635
日本进口simco思美高局部清洁静电消除离子发生器 quadbar 型号 4635
4635 型四杆离子发生器是一款高度清洁的离子发生器,进一步改进了传统型号 4630/4632,以提高静电消除性能和易用性。适用于光罩等有限空间和气流环境下的静电消除。特征采用独创的isostat方法的离子平衡自动调节。无需调节工作电源支持24v dc和24v ac单晶硅电极,对半导体器件具有高度清洁和安全性全新设计的吹扫气流路径,实现长距离、高速静电消除。
离子发生方式 | 电晕放电方式 稳态直流方式 |
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电极 | 单晶硅(可更换) |
清洁度 | iso 1 级(24v 直流) iso 2 级(24v 交流) |
相应的吹扫气体 | 清洁干燥空气和n2 |
空气连接 | 4mm内径管 |
空气流动 | ~25lpm |
输入电压 | 24v ac /-5%,50/60hz,0.1a(典型值) 24v dc /-5% 0.025a(典型值) |
静电消除时间 | <15秒,30厘米距离,15lpm空气吹扫 (标准滤芯) <6秒,30厘米距离,15lpm空气吹扫 (喷射跨通道墨盒) |
离子平衡 | /-20v 15cm 距离 |
可连接数量 | 使用 14-1535 变压器时多 4 个单元 使用 4030 控制器时多 15 个单元 |
尺寸 | 33mm 高 x 33mm 宽 x 91mm 长 (不包括空气连接) |
重量 | 108克 |
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