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日本进口新宇宙xp-703diii 半导体材料气体检测

测对象气体 

半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） 

检测原理 

热线型半导体式 

采样方式 

自动吸引式 

检测气体名称

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气 

ash3    ph3       b2h6      sih4       h2 

可检测小浓度

（单位：ppm）

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

检测表示 

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度 

10秒以内 

尺寸

w38×h130×d30mm