日本进口爱发科ulvac螺杆式干式真空泵ms120a-凯发k8国际首页登录

产品简介： ms系列真空泵属于螺杆式干式真空泵，在传统ls系列 的基础上，作为耐腐蚀型，提升了耐粉尘排气性能，是针对使用腐蚀性气体和粉尘排气工艺而设计的机型。 特征 对转子轴、气缸等主要部件进行特殊涂层处理，提高耐腐蚀性能 采用ulvac独特设计的转子轴，实现高性能排粉 实现接近大气压的连续抽气 应用 半导体和电子设备制造设备的真空系统，用于 蚀刻、灰化、等离子清洗等。 烧结、渗碳等炉的真空系统。锂离子电池制造设备的真空系统电极干燥、脱气、真空注射等。医疗和食品用真空系统冷冻干燥、真空干燥等。