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日本爱发科进口ulvac螺杆式干式真空泵ls600a
产品型号:ls600a
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: c 型:洁净工艺(ls***ac)特点:低功耗型号(内置 eco-shock)应用:用于空气和 n2 g14 溅射/气相沉积/层压/负载锁室/tmp 前级泵等洁净工艺。l型:轻工艺(ls***al)特点:轻工艺型号(附表面处理和清洗功能) 用途:用于蒸汽和挥发性药液等轻工艺 / 真空干燥 /冷冻干燥 / 灰化 / 一般工业用途等。

日本爱发科进口ulvac螺杆式干式真空泵ls600a

模型 (c:c型)
 (l:l型)
ls120als300als600als1200a
c大号c大号c大号c大号
抽速立方米/小时1203806001000
极限压力≦0.6≦0.1
电源200v级:3相,50/60hz,ac200-240v或400v级:3相,50/60hz,ac380-480v
功耗*1千瓦0.62.01.02.51.32.61.32.7
冷却水
流量
升/分钟>2.0>4.0
吹扫气体流量
*2
空间光调制器0~500~500~500~50
耐水蒸气性
*3
公斤/小时1.51.51.51.5
噪音 *1分贝(声级)61616264
进气口进气口
kf50(水平)/
vg50(垂直)
iso-f-50iso-f-80iso-f-100
出水口kf40kf40kf40kf40
重量公斤142220242266
适用标准ce、ctuvus
标准附件电源连接器、防水线夹、遥控连接器、电源连接器防护装置
泵头选项电源:200v级或400v级,密封材质:ffkm(仅l型)
外部选项mbp 入口法兰适配器、封装排气口、防震支架、lr 兼容
单元(入口、远程)、吹扫气体阀


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