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日本ulvac进口多级罗茨干式真空泵ur421-t
模型 | ur421-t | ur600 | ur1200 | ur1800 | ur3601-tt | ||||
泵 | 决策支持系统 | ur421-t | ur90 | ur90 | ur180 | ur421-t | |||
骨髓移植 | - | prc-006a | prc-012a | prc-018a | prc-036c-t | ||||
抽 速 | 50赫兹 | 410 立方米/小时 (6833 升/分钟) | 653 立方米/小时 (10883 升/分钟) | 1012 立方米/小时 (16867 升/分钟) | 1701 立方米/小时 (28350 升/分钟) | 2700 立方米/小时 (45000 升/分钟) | |||
极限压力 | 5.0帕 | ||||||||
入口压力 | 大气压*1 | ||||||||
排气压力 | 1.0至大气压pa | ||||||||
入口直径(ce型) | vg100 | vg80(nw80) | vg100(nw100) | vg150(nw100) | vg150 | ||||
出口直径 | vg50 | nw40 | nw50 | ||||||
重量 | 415公斤 | 370公斤 | 403公斤 | 553公斤 | 720 公斤 | ||||
力量 | 三相 | 180~240vac/ 380~440vac (50/60赫兹) | 200 vac(50/60 赫兹)/220 vac(60 赫兹) | 180~240vac/ 380~440vac (50/60赫兹) | |||||
当前的 | 在极限压力下 | 23 a(200v 时) | 16.4a(200v 时) | 18.9 a(200 v 时) | 29.2 安培(200 伏时) 20.5 安培(400 伏时) | 39.8 a(200v 时) 20.5 a(400v 时) | |||
负载时 | 52.5a(200v 时) | 17.3 a(200v 时) | 22.4 a(200 v 时) | 34.9 安培(200 伏时) 40.5 安培(400 伏时) | 68.3 安培(200 伏时) 40.5 安培(400 伏时) | ||||
冷却水 供给压力 | 0.2~0.5兆帕 | 0.1~0.3兆帕 | 0.2~0.5兆帕 | ||||||
冷却水进/ 出压差 | >0.2兆帕 | >0.1兆帕 | >0.1兆帕 | >0.1兆帕 | >0.2兆帕 | ||||
冷却水流量 | >5.0 升/分钟 | ||||||||
氮气 | 供给 压力 | 0.1~0.5兆帕 | |||||||
压力调节 | 0.05~0.1mpa | ||||||||
n2 吹扫 | 轴吹扫 | 5 级 | |||||||
气镇流器 | 0~195 秒 | 0~45秒 | 0~195 秒 | 0~195 秒 |
*1:ur600、ur1200、ur1800 和 ur3601-tt 均应在 200pa (1.5 torr) 以下运行。
* 如果您需要此规格列表中未列出的 ur 系列,请与我们联系。
■操作方式
干泵运行模式 | 1 | 2 | 3 | |||||
n2流量 | 空间光调制器 | 0 | 5 | 5~50 *1 |
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