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日本进口ulvac爱发科ur600多级罗茨干式真空泵
产品型号：ur600
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
均匀高温分布泵hr 系列泵设计用于保持均匀高温，适用于需要加热泵、加热气管线和/或加热排气管线的应用ur 系列泵能够保持比 hr 系列更高的温度。卓越的氦气泵送能力，封闭式电机，安全且易于维护。电源故障保护泵可承受长达 1000 毫秒的电源中断。卓越的耐腐蚀性内部组件经过特殊处理，具有高表面硬度和耐腐蚀性。这可防止泵内部零件在暴露于腐蚀性气体时发生磨损和腐蚀。通讯功能可以导出包括警告和警报在内的泵数据。可进行广泛的泵控制。
日本进口ulvac爱发科ur600多级罗茨干式真空泵
高温分布均匀。可将cvd、蚀刻工序产生的升华物以气态排出。
特征
均匀高温分布泵
hr 系列泵设计用于保持均匀高温，适用于需要加热泵、加热气管线和/或加热排气管线的应用
ur 系列泵能够保持比 hr 系列更高的温度。的氦气泵送能力，
封闭式电机，安全且易于维护。电源故障保护
泵可承受长达 1000 毫秒的电源中断。的耐腐蚀性
内部组件经过特殊处理，具有高表面硬度和耐腐蚀性。这可防止泵内部零件在暴露于腐蚀性气体时发生磨损和腐蚀。通讯功能
可以导出包括警告和警报在内的泵数据。可进行广泛的泵控制。
应用
cvd 设备
蚀刻设备
灰化设备
ald、alh等
规格
| 模型 | ur421-t | ur600 | ur1200 | ur1800 | ur3601-tt | ||||
| 泵 | 决策支持系统 | ur421-t | ur90 | ur90 | ur180 | ur421-t | |||
| 骨髓移植 | - | prc-006a | prc-012a | prc-018a | prc-036c-t | ||||
抽 速 | 50赫兹 | 410 立方米/小时 （6833 升/分钟） | 653 立方米/小时 （10883 升/分钟） | 1012 立方米/小时 (16867 升/分钟) | 1701 立方米/小时 （28350 升/分钟） | 2700 立方米/小时 （45000 升/分钟） | |||
| 极限压力 | 5.0帕 | ||||||||
| 入口压力 | 大气压*1 | ||||||||
| 排气压力 | 1.0至大气压pa | ||||||||
| 入口直径（ce型） | vg100 | vg80(nw80) | vg100(nw100) | vg150(nw100) | vg150 | ||||
| 出口直径 | vg50 | nw40 | nw50 | ||||||
| 重量 | 415公斤 | 370公斤 | 403公斤 | 553公斤 | 720 公斤 | ||||
| 力量 | 三相 | 180～240vac/ 380～440vac （50/60赫兹） | 200 vac（50/60 赫兹）/220 vac（60 赫兹） | 180～240vac/ 380～440vac （50/60赫兹） | |||||
| 当前的 | 在极限压力下 | 23 a（200v 时） | 16.4a（200v 时） | 18.9 a（200 v 时） | 29.2 安培（200 伏时） 20.5 安培（400 伏时） | 39.8 a（200v 时） 20.5 a（400v 时） | |||
负载时 | 52.5a（200v 时） | 17.3 a（200v 时） | 22.4 a（200 v 时） | 34.9 安培（200 伏时） 40.5 安培（400 伏时） | 68.3 安培（200 伏时） 40.5 安培（400 伏时） | ||||
| 冷却水 供给压力 | 0.2~0.5兆帕 | 0.1~0.3兆帕 | 0.2~0.5兆帕 | ||||||
| 冷却水进/ 出压差 | >0.2兆帕 | >0.1兆帕 | >0.1兆帕 | >0.1兆帕 | >0.2兆帕 | ||||
| 冷却水流量 | >5.0 升/分钟 | ||||||||
| 氮气 | 供给 压力 | 0.1~0.5兆帕 | |||||||
压力调节 | 0.05~0.1mpa | ||||||||
| n2 吹扫 | 轴吹扫 | 5 级 | |||||||
| 气镇流器 | 0~195 秒 | 0~45秒 | 0~195 秒 | 0~195 秒 | |||||
*1：ur600、ur1200、ur1800 和 ur3601-tt 均应在 200pa (1.5 torr) 以下运行。
* 如果您需要此规格列表中未列出的 ur 系列，请与我们联系。
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